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TECHNICAL ARTICLEScvd真空管式爐的操作便捷性:
1、cvd真空管式爐,氣路連接方式采用了快速連接法蘭結(jié)構(gòu)。
2、使取放物料過程簡化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,方便操作。
3、取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程,減少了爐管因安裝造成損壞的可能。
cvd真空管式爐的結(jié)構(gòu)實用性:
1、cvd真空管式爐,爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成,可使物料在不同溫度段可同時加溫,更有效的節(jié)能,節(jié)能50%,溫場均勻。電熱元件一端采用表面溫度1700℃的硅鉬棒。另一端采用表面溫度1500℃的硅碳棒。
2、密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù),有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進出氣微量可調(diào)功能。
3、兩端氣路支架,支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應(yīng)力,杜絕了因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞。
4、先進的空氣隔熱技術(shù),結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù),當爐體表面溫升到達50℃時,排溫風扇將自動啟動,使爐體表面快速降溫。
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